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      勝利石英砂 常見問題

      避免二氧化硅層表面的缺陷方法

        來源:www.newobovsem.com
        二氧化硅是石英砂的主要材料,也是很多石英制品的主要材料,但是應用當中,需要避免表面的缺陷,那么避免表面的缺陷方法主要有哪些呢?以下是具體介紹:
        1、石英管長期性應用,處于高溫地區的石英管造成乳白色塑料薄膜,這類乳白色塑料薄膜的構造較為疏松,大氣旋吹開或實際操作時振動就會導致粒子掉下去,落入硅片表面就會產生氧化層表面部分凸起。因此應提升對石英管的清理解決及適度拆換脆化的石英管是很須的。
        2、一定堅決杜絕水珠噴到石英管中,特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時,當溫度過高,發生爆發式燒開時,通常會將水滴立即噴到石英管中,如落入硅片上,就會發生五顏六色斑點。此外清理過的硅片上如殘余水漬,也會在氧化影片上發生斑點。
        3、如在二氧化硅表面存有黑斑時,黑斑處的氧化層對殘渣的掩蔽功效很有可能無效,因而導致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑時,還會繼續導致光刻技術實際操作品質降低,危害全部芯管生產制造的良品率,因此在生產制造中應盡量減少發生黑斑。
        要想避免缺陷,那么我們就應該做到這幾點。避免二氧化硅層表面產生缺陷導致其使用被影響。它的使用還是比較廣泛的,就需要大家正確使用它們。
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